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FSU-8光刻膠(FSU-8 negative fluorinated photoresist)

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FSU-8光刻膠(FSU-8 negative fluorinated photoresist)

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產品描述

規格:本產品符合以下指標    

Specification:Meet the following criteria

項目 Project

指標 Index

外觀 

Appearance

無色透明液體

Colorless transparent liquid

折射率(n20D

Refractive Index(n20D

1.5154

光損耗

Optical loss

0.21dB/cm(1550 nm)

粘度(pa.s,25℃)

Viscosity(pa.s,25℃)

250

勻膠厚度(μm)

Film thickness(μm)

0.5-200

聚合度

Degree of polymerization

4-8

包裝 Packaging

100ml、250ml、500ml

 

新型的含氟FSU- 8 膠是一種負性、環氧樹脂型、近紫外線光刻膠,具有傳統SU-8光刻膠的優點:適合于制備高深寬比微結構,可得到具有垂直側壁和高深寬比的厚膜圖形;它還具有良好的力學性能、抗化學腐蝕性和熱穩定性。FSU- 8 含有大量的C-F鍵,可以進一步的增加材料的耐腐蝕性、耐候性,并且在通訊波長(850、1310、1550nm)具有極低的光學損耗、低雙折射率、高穩定性。材料的折射率在1.483~1.588范圍內可調,適宜于制作陣列式光波導、光柵、直型波導等光通信、調制、傳輸等器件。

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